基于喷砂加工多孔YSZ基板的混成电位型NO₂传感器及制备方法

摘要

基于喷砂加工多孔YSZ基板的混成电位型NO₂传感器及制备方法，属于气体传感器技术领域，该传感器主要用于汽车尾气的检测。传感器依次由带有Pt加热电极的Al₂O₃陶瓷板、YSZ基板、参考电极和敏感电极组成；YSZ基板具有粗糙多孔表面，参考电极为条状Pt，敏感电极为条状NiO，两电极彼此分立且对称地制备在YSZ基板的粗糙表面上，YSZ基板的下表面与Al₂O₃陶瓷板粘结在一起。本发明利用喷砂加工的YSZ基板为电解质，其表面的粗糙多孔结构提高待测气体与电解质的接触，增加反应活性位点，达到提高传感器灵敏度的目的。

主权项

一种基于喷砂加工多孔YSZ基板的混成电位型NO₂传感器，顺次由带Pt加热电极的Al₂O₃陶瓷板、YSZ基板、参考电极和敏感电极组成，其特征在于：YSZ基板上表面为粗糙多孔表面，参考电极为条状Pt，敏感电极为条状NiO，两电极彼此分立且对称地制备在YSZ基板的粗糙表面上，YSZ基板下表面为非粗糙多孔表面，YSZ基板下表面与Al₂O₃陶瓷板粘结在一起；YSZ粗糙多孔表面的粗糙度为364～775nm，是以40～80μm的金刚砂在YSZ基板表面加工出粗糙度为364～775nm的粗糙表面；喷砂气压为0.55MPa，喷口距YSZ基板表面4cm，喷砂时间10s。