发明名称 |
一种蓝宝石晶体生长提拉装置 |
摘要 |
本发明一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,导轨与轴承座相连接,通过调整导轨可以在XY方向调整籽晶杆。通过导轨和磁流体密封装置能够有效提高籽晶杆移动的精度,进而改善产品质量。 |
申请公布号 |
CN105926038A |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201610347015.4 |
申请日期 |
2016.05.24 |
申请人 |
上海申骅机电设备制造有限公司 |
发明人 |
严辉 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 |
代理人 |
袁亚军 |
主权项 |
一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、十字导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,十字导轨与轴承座相连接,通过调整十字导轨可以在XY方向调整籽晶杆。 |
地址 |
201600 上海市松江区松汇中路351号31幢 |