发明名称 一种蓝宝石晶体生长提拉装置
摘要 本发明一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,导轨与轴承座相连接,通过调整导轨可以在XY方向调整籽晶杆。通过导轨和磁流体密封装置能够有效提高籽晶杆移动的精度,进而改善产品质量。
申请公布号 CN105926038A 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201610347015.4 申请日期 2016.05.24
申请人 上海申骅机电设备制造有限公司 发明人 严辉
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I 主分类号 C30B29/20(2006.01)I
代理机构 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 代理人 袁亚军
主权项 一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、十字导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,十字导轨与轴承座相连接,通过调整十字导轨可以在XY方向调整籽晶杆。
地址 201600 上海市松江区松汇中路351号31幢
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