发明名称 |
阵列基板的制造方法、阵列基板和显示装置 |
摘要 |
本发明公开了一种阵列基板的制造方法、阵列基板和显示装置,属于显示技术领域。所述方法包括:在衬底基板上形成包括薄膜晶体管TFT的平坦层前膜层结构;在形成有所述平坦层前膜层结构的衬底基板上形成平坦层图案;在形成有所述平坦层图案的衬底基板上形成透明导电膜层;在形成有所述透明导电膜层的衬底基板上形成触摸金属图案TPM;对所述透明导电膜层进行处理形成公共电极。本发明通过在透明导电膜层上形成TPM,然后再对透明导电膜层进行处理以形成公共电极,解决了相关技术中在公共电极上形成TPM可能会对平坦层图案造成损坏的问题,达到了形成TPM时,由透明导电膜层保护平坦层图案,不会对平坦层图案造成损坏的效果。 |
申请公布号 |
CN105931986A |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201610330828.2 |
申请日期 |
2016.05.18 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
发明人 |
杨璐;史大为;王文涛;司晓文;王金锋;徐海峰 |
分类号 |
H01L21/77(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/77(2006.01)I |
代理机构 |
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 |
代理人 |
滕一斌 |
主权项 |
一种阵列基板的制造方法,其特征在于,所述方法包括:在衬底基板上形成包括薄膜晶体管TFT的平坦层前膜层结构;在形成有所述平坦层前膜层结构的衬底基板上形成平坦层图案;在形成有所述平坦层图案的衬底基板上形成透明导电膜层;在形成有所述透明导电膜层的衬底基板上形成触摸金属图案TPM;对所述透明导电膜层进行处理形成公共电极。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |