导电铜靶装置

摘要

本实用新型涉及一种导电铜靶装置，主要由驱动机构、移动机构、夹持机构以及翻转机构所构成。驱动机构带动移动机构进行位移，而翻转机构枢设于移动机构，并能在连接于夹持机构的组装位置与未连接于夹持机构的拆除位置之间摆动。藉此，翻转机构位于组装位置，而夹持机构夹固被镀物，使移动机构能带动夹持机构移动至电镀槽进行电镀作业，当被镀物在进行电镀作业时有产生任何异状，可将翻转机构翻转至拆除位置，使夹持机构从移动机构拆除下来，进而降低被镀物损坏的范围。

主权项

一种导电铜靶装置，运用于一电镀机台，所述电镀机台具有一第一导引件以及一第二导引件，而所述导电铜靶装置，其特征在于包括：一驱动机构；一移动机构，连接于所述第一导引件，并受到所述驱动机构带动而沿着所述第一导引件进行移动；一夹持机构，连接于所述第二导引件，并用来夹固一被镀物；以及一翻转机构，枢转连接于所述移动机构，并连接于所述夹持机构以位于一组装位置，而所述翻转机构能以一翻转路径进行翻掀，使得所述翻转机构能由所述组装位置移动至一未连接于所述夹持机构的拆除位置。