MEMS磁调谐YIG带通滤波器及制作方法

摘要

本发明公开了一种MEMS磁调谐YIG带通滤波器及制作方法，带通滤波器包括谐振腔、位于谐振腔内水平放置的长方形基体，所述谐振腔包括RF输入端和RF输出端；所述基体上水平设有两个耦合孔洞，所述耦合孔洞中放置有YIG小球；基体正面设有金属线条，且当满足铁磁共振条件时，微波射频信号从一输入输出端U形金属线条进入，并从另一输入输出端U形金属线条耦合输出，基板上印刷有两个并联的温补电阻。本发明实现了YIG谐振耦合结构的小型化、紧凑化和工艺高精度可控，大幅度缩小、减轻、降低和提高了磁调谐YIG带通滤波器的体积、重量、功耗和调谐速度，突破了该类器件因手工制作人为因素导致的一致性差和装调效率低下的工艺瓶颈问题。

主权项

一种MEMS磁调谐YIG带通滤波器，其特征在于：包括谐振腔、位于谐振腔内水平放置的长方形基体，所述谐振腔包括RF输入端和RF输出端；所述基体上水平设有两个耦合孔洞，所述耦合孔洞中放置有YIG小球，所述YIG小球的温度稳定轴为[0,8,13]方向，并通过粘胶与基板固定连接；基体正面的两耦合孔洞间设有两个中央U形金属线条，两个中央U形金属线条开口相背、且开口分别朝向两耦合孔洞，两个中央U形金属线条通过一根水平金属线条连通；一耦合孔洞正下方、另一耦合孔洞正上方分别设有输入输出端U形金属线条，两条输入输出端U形金属线条分别通过一竖直金属线条连通谐振腔的RF输入端和RF输出端；朝向同一耦合孔洞的中央U形金属线条和输入输出端U形金属线条间，还设有数条间断围绕耦合孔洞一周的弧形金属线条，基体背面也设有与正面重叠的弧形金属线条；所述中央、输入输出端U形金属线条、弧形金属线条的端部设有金属化通孔，所述金属化通孔连通正反两面对应的金属线条，中央、输入输出端U形金属线条的转角处垂直转角，且当满足铁磁共振条件时，微波射频信号从一个输入输出端U形金属线条进入，并从另一个输入输出端U形金属线条耦合输出；所述基板上印刷有两个并联的温补电阻。