液晶阵列检查装置及液晶阵列检查装置的信号处理方法

摘要

本发明是有关于液晶阵列检查装置及其信号处理方法。在从由扫描图像而获得的检测像素坐标检测与各像素相对应的检测像素坐标时，减少检测像素坐标的误检测。涉及一种信号处理，用来在液晶阵列检查中通过将对应于液晶基板上的阵列的像素与从扫描图像而获得的检测像素的坐标建立对应关系，指定用于阵列检查的像素，液晶阵列检查是对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列，扫描对液晶基板照射电子射线而获得的二次电子，基于通过扫描而获得的扫描图像检查液晶基板的阵列，在液晶基板上的像素与从扫描图像而获得的检测像素坐标的对应关系中，使用在列内的检测像素坐标连续的坐标列代替先前的列方向的两端的检测像素坐标作为基准的检测像素坐标。

主权项

一种液晶阵列检查装置的信号处理方法，对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列，且扫描对所述液晶基板照射电子射线而获得的二次电子，基于通过所述扫描而获得的扫描图像来检查所述液晶基板的所述阵列，所述液晶阵列检查装置的信号处理方法的特征在于包括：搜索用像素坐标步骤，从所述扫描图像中的二维排列像素，将第一虚拟像素坐标与检测像素坐标的x坐标进行比较或将已登录的登录坐标与所述检测像素坐标的y坐标进行比较来形成修正后的登录坐标，并根据所述修正后的登录坐标求出所述检测像素坐标在列方向上连续的坐标列，且以所述坐标列为基准，求出用来搜索所述列方向的所述检测像素坐标的搜索用像素坐标；以及检测像素坐标步骤，通过比较所述搜索用像素坐标与所述检测像素坐标的坐标，而检测出所述搜索用像素坐标附近的所述检测像素坐标，并搜索所述列方向的所述检测像素坐标；且将搜索到的所述检测像素坐标的检测像素作为检查对象像素进行阵列检查。