一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统

摘要

本发明公开了一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统，包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜，光束入射面至光束出射面之间依次设置第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜，且第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜中心轴同轴，在非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD，本发明结构设计新颖，能够准静态高精度定性检测光束传输方向与同轴误差，同时能够高精度校正还原光束实际传输特性，更大限度降低各类镜片装配误差所引起的光学特性变化，提高精细激光加工一致性与加工质量。

主权项

一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统,其特征在于：包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜，光束入射面至光束出射面之间依次设置所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜，且所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜中心轴同轴，在所述非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD。