发明名称 |
氧传感器芯片填孔设备 |
摘要 |
本发明公开了一种氧传感器芯片填孔设备,包括机体,机体上方设置有芯片填孔机构,所述芯片填孔机构包括设置在机体上用于放置氧化锆板以及金属浆料的下模和通过固定在机体上的立柱设置在机体上与下模相对应的上模;所述上模与立柱之间滑动配合,上模通过设置在机体上的汽缸控制机构在立柱内上下移动。本发明结构简单、成本低廉、装配方便,通过挤压填充的方式,对打孔后氧化锆片完成孔内金属浆料的填充,保证了填孔的质量,从而提高了氧传感器芯片的可靠性。 |
申请公布号 |
CN104103535B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201410323898.6 |
申请日期 |
2014.07.08 |
申请人 |
无锡隆盛科技股份有限公司 |
发明人 |
谢蒙蒙 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 |
代理人 |
任益 |
主权项 |
一种氧传感器芯片填孔设备,其特征在于:包括机体(1),机体上方设置有芯片填孔机构,所述芯片填孔机构包括设置在机体上用于放置氧化锆板以及金属浆料的下模和通过固定在机体上的立柱设置在机体上与下模相对应的上模;所述上模与立柱(21)之间滑动配合,上模通过设置在机体上的汽缸控制机构在立柱内上下移动。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市新区城南路231-3号 |