无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法

摘要

本发明涉及无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。该装置是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，该装置具备：监视照相机，其拍摄上述格栅；监视部，其根据利用上述监视照相机得到的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到上述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从上述监视部接受上述警报信号，并发出警报。

主权项

一种无尘室的监视装置，是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，其特征在于，具备：监视照相机，其拍摄所述格栅；监视部，其根据利用所述监视照相机得到的图像信号来检测取下了所述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到所述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从所述监视部接受所述警报信号，并发出警报。