发明名称 一种优化OPC验证的方法
摘要 本发明提供了一种优化OPC验证的方法,包括:第一步骤:执行版图OPC处理,从而形成版图OPC数据;第二步骤:通过静态随机存储器标注层,使用标准验证规格格式命令,将版图划分为存储单元区域图形以及非存储单元区域图形;第三步骤:利用第一验证规范对所述存储单元区域图形的版图数据进行验证,以得到第一验证结果;第四步骤:利用第二验证规范对所述非存储单元区域图形的版图数据进行验证,以得到第二验证结果。
申请公布号 CN105892223A 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201610421103.4 申请日期 2016.06.14
申请人 上海华力微电子有限公司 发明人 储志浩;何大权;魏芳;朱骏;吕煜坤;张旭升
分类号 G03F1/36(2012.01)I 主分类号 G03F1/36(2012.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 智云
主权项 一种优化OPC验证的方法,其特征在于包括:第一步骤:执行版图OPC处理,从而形成OPC版图数据;第二步骤:通过静态随机存储器标注层,使用标准验证规格格式命令,将版图划分为存储单元区域图形以及非存储单元区域图形;第三步骤:利用第一验证规范对所述存储单元区域图形的版图数据进行验证,以得到第一验证结果;第四步骤:利用第二验证规范对所述非存储单元区域图形的版图数据进行验证,以得到第二验证结果。
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