一种钛元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒、其抛光液组合物及其制备方法

摘要

本发明提供了一种钛元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒、其抛光液组合物及其制备方法。本发明的钛元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒，所述的复合磨粒按照重量百分数由以下成分组成：含钛化合物0.1‑5wt.%；氧化硅溶胶99.9‑95 wt.%。本发明的复合磨粒的物理结构为纳米球形，该磨粒的化学组成上含有钛元素，钛元素可以提高磨粒的化学作用。化学作用可提高磨粒的抛光速率，提高材料的去除速率。采用本发明提供的抛光液对蓝宝石基片、硅片进行抛光，可以有效地降低蓝宝石、硅片表面的粗糙度，提高蓝宝石、硅片表面的去除速率。

主权项

一种钛元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒，其特征在于，所述的复合磨粒按照重量百分数由以下成分组成：含钛化合物     0.1‑5％氧化硅溶胶     95‑99.9％。