一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计

摘要

本发明公开了一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计，包括三个框架结构：悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架，所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接。所述三个框架结构呈对称布置，形状为矩形或环形。还包括设置于X、Y、Z方向上的弹性感应梁。所述X方向敏感梁上的压敏电阻以串联方式布置在电桥的一个桥臂，其上的压敏电阻变化能减少与Y轴、及Z轴之间的耦合。Y方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、及Z轴间的耦合。Z方向敏感梁上的压敏电阻变化也能减少其与X轴、Y轴间的耦合。本发明设计巧妙，产品良率高，解决了现有技术中中单质量块压敏电阻式三轴MEMS加速度传感器轴间耦合过大、灵敏度低、测量精度低的问题。

主权项

一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计，其特征在于，包括三个框架结构：悬浮内框架、悬浮外框架与固定框架，所述固定框架以键合的方式与底座形成密封连接，该加速度计还包含一个悬浮的质量块，所述质量块为正方体型、长方体型或圆柱体型，还包括第一敏感梁，用以连接质量块与悬浮内框架，所述第一敏感梁为X方向上的弹性感应梁，还包括第二敏感梁，用以连接悬浮内框架与悬浮外框架，所述第二敏感梁为Y方向上的弹性感应梁，还包括第三敏感梁，用以连接悬浮外框架与固定框架，所述第三敏感梁为Z方向上的弹性感应梁；在尺寸设计上，X方向上的敏感梁其X方向尺寸小于Y方向尺寸，在Z方向上的厚度相对X、Y方向尺寸都较大，即尺寸为：Z>Y>X；Y方向上的敏感梁其Y方向尺寸小于X方向尺寸，在Z方向上的厚度相对X、Y方向尺寸都较大，即尺寸为：Z>X>Y；Z方向上的敏感梁其X、Y方向尺寸较大，即尺寸为：X>Z，Y>Z。