一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜

摘要

一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜，主要涉及激光微加工领域。本实用新型的目的是提供一种准分子激光光束聚焦镜头，包含若干单正透镜及双胶合透镜，其特征在于该镜头所要达到的性能参数是：入瞳D＝30mm，焦距f′＝18mm，后焦距f＝0.5mm，光学场曲≤5％，最大视场为5°，全视场MYF值在50lp/mm时大于0.7。最终使得波长为248nm的准分子激光光束通过系统后得到的聚焦光斑直径可达微米量级，为实现准分子激光聚焦直写微细加工提供了一种可行方案。

主权项

一种超短工作距离大口径准分子激光聚焦物镜，镜片材质均为石英玻璃，其特征在于：从物方到像方依次为第一单正透镜(1)、第一双胶合透镜(2)、第二双胶合透镜(3)、第二单正透镜(4)、第三单正透镜(5)。