一种光纤端面加工方法

摘要

本发明公开了一种光纤端面加工方法，包括以下步骤：（1）清洗光纤端面，吹片烘干；（2）在光纤端面涂光刻胶，形成均匀光刻胶层；（3）对光纤端面进行烘干；（4）进行激光自动对准，曝光形成反应池图形，显影，清洗，烘干；（5）使用干法刻蚀对光纤端面进行刻蚀，得到光纤端面反应池。本发明工艺简单，可操作性强，精确度高。

主权项

一种光纤端面加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）清洗光纤端面，吹片烘干；（2）在光纤端面涂光刻胶，形成均匀光刻胶层；（3）对光纤端面进行烘干；（4）进行激光自动对准，曝光形成反应池图形，显影，清洗，烘干；（5）使用干法刻蚀对光纤端面进行刻蚀，得到光纤端面反应池;步骤（1）和（4）中所述清洗先使用三乙醇胺，再使用水冲洗;所述光纤为石英光纤;所述涂光刻胶使用高压无气喷涂装置，喷出速度在100‑110m/s以上，得到光刻胶的厚度为1‑1.5μm;所述光刻胶为PAC、线型酚醛树脂和溶剂组成；所述溶剂为四氢呋喃和乙酸乙酯;所述光刻胶在使用时，用溶剂稀释5倍;所述步骤（1）、（3）中烘干的温度为55‑65℃，时间为15‑30分钟；所述步骤（4）中烘干温度为130‑135℃，时间为10‑15分钟;所述曝光为投影式曝光;所述刻蚀气体为三氟化氮和氧气。