一种温度连续可调的喷淋头

摘要

一种温度连续可调的喷淋头，用于进行金属有机化学沉积反应，包括：进气单元；反应室上盖；连接于进气单元和反应室上盖的喷淋管；其特征在于，还包括：调温盘组件，调温盘组件包括调温盘及分设两边的入口通道和出口通道，调温盘内设有供冷却介质流通的空腔，相对密封的空腔与入口通道和出口通道与空腔连通，调温盘上还对应喷淋管设有通孔，喷淋管穿插于通孔中，高温盘可上下移动连接于反应室上盖和进气单元之间；位移装置，用于调节调温盘组件上下移动。本发明可通过改变调温盘与反应室上盖的距离来调整反应室内顶端空间的温度，在生长HEMT器件、LED行业广泛应用，不仅可以解决反应室内温度梯度的有效控制问题，还能提高源的使用效率。

主权项

一种温度连续可调的喷淋头，用于进行金属有机化学沉积反应，包括：进气单元，用于与输送外部反应气体并贮存反应气体；反应室上盖，用于向反应室内导入反应气体；连接于进气单元和反应室上盖的喷淋管；其特征在于，还包括：调温盘组件，调温盘组件包括调温盘及分设两边的入口通道和出口通道，调温盘内设有供冷却介质流通的空腔，密封的空腔与入口通道和出口通道连通，调温盘上还对应喷淋管设有通孔，喷淋管穿插于通孔中，高温盘可上下移动连接于反应室上盖和进气单元之间；位移装置，用于调节调温盘组件上下移动；其中，所述调温盘的空腔包括外腔体和内腔体，其中外腔体分设于调温盘的两侧，分别与入口通道和出口通道连接，内腔体与外腔体内设有连接孔，所述喷淋管的通孔孔壁设于内腔体的区域内；所述内腔体与外腔体内所设的连接孔各有两个，分别设于入口通道和出口通道连接于外腔体位置的两侧。