用于拉拔石英玻璃杆的方法和设备

摘要

在一种已知的用于拉拔石英玻璃丝的方法中，该方法为向一个熔融坩埚供应SiO2颗粒，将其在坩埚中软化为石英玻璃块，并且将软化的石英玻璃块通过一个在该熔融坩埚的底部区域中设置的拉拔喷嘴用缝隙形状的拉拔喷嘴开口竖直向下拉伸为石英玻璃丝。为了由此出发，使得可重现地生产具有与标称壁厚度轮廓的偏离更小的石英玻璃杆更容易，并且尤其为了避免壁厚度轮廓的不规则出现的凹入和突出部，根据本发明提出：测定该石英玻璃杆的壁厚度曲线，并且借助于围绕拉拔喷嘴开口分布且彼此独立可控的多个加热元件来加热该拉拔喷嘴，并且依赖于壁厚度曲线的测量结果，在该缝隙状拉拔喷嘴开口之内借助于加热元件局部地加热该石英玻璃块。

主权项

用于拉拔石英玻璃杆的方法，其中向一个熔融坩埚（1）供应SiO₂颗粒（3），在该熔融坩埚中将其软化为石英玻璃块（27），并且将软化的石英玻璃块（27）通过一个在该熔融坩埚（1）的底部区域中设置的、具有缝隙状拉拔喷嘴开口的拉拔喷嘴（4）竖直向下拉伸成石英玻璃杆，其特征在于，测定该石英玻璃杆（5）的壁厚度曲线，并且借助于围绕该拉拔喷嘴开口分布且彼此独立可控的多个加热元件（31）来加热该拉拔喷嘴（4），并且依赖于该壁厚度曲线的测量结果，在该缝隙状拉拔喷嘴开口之内借助于这些加热元件（31）局部地加热该石英玻璃块（27）。