激光加工方法

摘要

一种激光加工方法，是使激光（L）聚光于由硅形成的加工对象物（1）的内部而形成改质区域（7），沿着该改质区域（7）进行蚀刻，由此在加工对象物（1）形成贯通孔（24）的激光加工方法，包含：在加工对象物（1）的外表面生成对蚀刻具有耐性的耐蚀刻膜的耐蚀刻膜生成工序；在耐蚀刻膜生成工序之后，通过使激光（L）聚光于加工对象物（1），沿着加工对象物（1）的与贯通孔（24）对应的部分形成改质区域（7），并且使激光（L）聚光于耐蚀刻膜（22），由此，沿着耐蚀刻膜（22）的与贯通孔（24）对应的部分形成缺陷区域（22b）的激光聚光工序；以及在激光聚光工序之后，对加工对象物（1）实施蚀刻处理，沿着改质区域（7）使蚀刻选择性地进展而形成贯通孔（24）的蚀刻处理工序。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于，是使激光聚光于由硅形成的加工对象物的内部而形成改质区域，沿着该改质区域进行蚀刻，由此在所述加工对象物形成贯通孔的激光加工方法，其包含：耐蚀刻膜生成工序，在所述加工对象物的表面和背面生成对所述蚀刻具有耐性的耐蚀刻膜；激光聚光工序，在所述耐蚀刻膜生成工序之后，通过使所述激光聚光于所述背面侧的所述耐蚀刻膜，沿着所述背面侧的所述耐蚀刻膜的与所述贯通孔对应的部分形成缺陷区域，接着，通过使所述激光聚光于所述加工对象物，在背面侧形成与所述背面的所述蚀刻膜的缺陷区域相连的所述改质区域，并且沿着所述加工对象物的与所述贯通孔对应的部分形成相互连接的所述改质区域，接着，使所述激光聚光于所述表面侧的所述耐蚀刻膜，由此，沿着所述表面侧的所述耐蚀刻膜的与所述贯通孔对应的部分形成缺陷区域；以及蚀刻处理工序，在所述激光聚光工序之后，对所述加工对象物实施蚀刻处理，由此沿着所述改质区域使所述蚀刻选择性地进展而形成所述贯通孔，其中，所述缺陷区域由所述蚀刻处理除去。