METAL/CERAMIC BONDED BODY, DIAPHRAGM VACUUM GAUGE, BONDING METHOD FOR METAL AND CERAMIC, AND PRODUCTION METHOD FOR DIAPHRAGM VACUUM GAUGE

摘要

금속 세라믹 접합체는, 금속부재와, 세라믹부재(11)와, 유약으로 구성되며 금속부재와 세라믹부재를 접합하는 접합층(21)과, 세라믹부재의 외표면을 구성하며 접합층으로 덮인 도전층(22)과, 세라믹부재의 외표면 중 금속부재에서 떨어진 부위(11d, 11e)에 위치하는 단자층(23), 을 구비한다. 도전층(22)은, 접합층(21)보다 높은 도전율을 갖는다. 접합층(21)은, 금속부재와 단자층(23) 사이에 위치한다.