低噪声传感器及使用低噪声传感器的检验系统

摘要

本发明揭示一种高速检验样本的方法，所述方法包含：将辐射引导且聚焦到样本上；及接收来自所述样本的辐射且将所接收到的辐射引导到图像传感器。所述方法尤其包含使用预定信号驱动所述图像传感器。所述预定信号最小化所述图像传感器的输出信号的安定时间。所述预定信号由用于选择查找值的相位累加器控制。所述驱动可进一步包含加载初始相位值，选择所述相位累加器的最高有效位及将所述查找值转换为模拟信号。在一个实施例中，针对相位时钟的每一循环，可将相位增量添加到所述相位累加器。所述驱动可由定制波形产生器执行。

主权项

一种高速检验样本的方法，所述方法包括：将辐射引导且聚焦于所述样本上；接收来自所述样本的辐射且将所接收到的辐射引导到图像传感器；及使用预定信号驱动所述图像传感器，所述预定信号最小化所述图像传感器的输出信号的安定时间，所述预定信号由相位累加器控制，所述相位累加器用于选择查找值。