一种具有加热装置的新型真空镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种具有加热装置的新型真空镀膜装置，包括本体、摄像头、监控器、模板，模版下方设有第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源，本体侧边设有气管，气管与真空泵连接，气管上设有过滤器，第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源外部均设有保护罩，保护罩与镀膜发生件连接，镀膜发生件正对模板，本体内设有温度传感器，温度传感器与控制器连接；伸缩管与加热支架连接，加热支架一端与反射板连接，反射板前侧设有挡板，反射板与挡板为卡扣连接，反射板与挡板之间设有加热器，反射板内侧表面设有凹凸结构。本实用新型具有结构简单、造价便宜、适用范围广、生产质量好、薄膜形成均匀、避免交叉污染及自动化程度高等特点。

主权项

一种具有加热装置的新型真空镀膜装置，其特征在于：包括本体，本体内上部设有摄像头，摄像头与监控器连接，摄像头下部设有模板，模版下方设有第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源，本体侧边设有气管，气管与真空泵连接，气管上设有过滤器，第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源外部均设有保护罩，保护罩与镀膜发生件连接，镀膜发生件正对模板，本体内设有温度传感器，温度传感器与控制器连接，控制器分别与第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源连接；摄像头与模版之间的本体上设有伸缩管，伸缩管与加热支架连接，加热支架一端与反射板连接，反射板前侧设有挡板，反射板与挡板为卡扣连接，反射板与挡板之间设有加热器，反射板内侧表面设有凹凸结构。