多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置

摘要

本实用新型公开一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置，包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构，阀盖设于阀座上方，阀盖顶部与阀盖驱动机构连接；真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处，阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔，倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。本真空锁装置结构简单，使用灵活而方便，所占体积较小，可直接在各真空室上加装即可，不影响真空室的现有结构，其制造成本也低。将其应用于多室卷绕镀膜系统，可将各个处理区域设置成相互独立的真空室，可方便换卷或对某一真空室进行维护，有效避免串气或镀膜区域会吸附水蒸气及空气中粉尘而造成污染的现象，防止交叉污染，从而提高产品质量。

主权项

多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置，其特征在于，包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构，阀盖设于阀座上方，阀盖顶部与阀盖驱动机构连接；真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处，阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔，倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。