发明名称 柱形凸块的形成方法及其实施装置
摘要 一种装置,包括被配置成供应导线的线轴、被配置成在导线中形成凹槽的切割器件,和被配置成接合导线并形成柱形凸块的毛细管。装置进一步地被配置成拉动导线以在凹槽处断开,其中,尾部区附接至柱形凸块。本发明还提供了柱形凸块的形成方法及其实施装置。
申请公布号 CN103187315B 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201210413947.6 申请日期 2012.10.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 黄见翎;林勇志;萧义理;郑明达;蔡再宗;刘重希;李明机;余振华
分类号 H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种形成柱形凸块的装置,包括:线轴,被配置成供应导线;切割器件,被配置成在所述导线中形成凹槽;毛细管,被配置成接合所述导线以形成柱形凸块,其中,所述装置被配置成拉动所述导线以在所述凹槽处断开,其中尾部区附接到所述柱形凸块;以及相互邻近放置的两个辊子,所述导线被配置成在所述两个辊子之间穿过,并且所述切割器件被设置在所述两个辊子中的一个或两个上。
地址 中国台湾新竹