| 发明名称 | 一种硅片边缘保护装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。本发明提供的硅片边缘保护装置可以避免瞬间强烈冲击工件台，避免压碎硅片；当发生碰撞时，可以保护工作台和硅片；并且提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN105807575A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201410857409.5 | 申请日期 | 2014.12.30 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 周旭;崔海仓;倪费;葛黎黎 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种硅片边缘保护装置，其特征在于，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||