| 发明名称 | 一种易排气镀膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种易排气镀膜装置，包括：处理器、镀膜室、驱动装置、真空镀膜装置、冷却室和若干排气装置，所述驱动装置、真空镀膜装置均位于所述镀膜室内，所述冷却室与镀膜室之间相互排列，所述排气装置位于冷却室内。通过上述方式，本发明提供的易排气镀膜装置，避免了镀膜气体的污染，且提高了镀膜的质量，且镀膜的方式较为方便，使用工厂的大规模的使用。 | ||
| 申请公布号 | CN105803397A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201610372218.9 | 申请日期 | 2016.05.31 |
| 申请人 | 苏州普京真空技术有限公司 | 发明人 | 陈学兵 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人 | 徐萍 |
| 主权项 | 一种易排气镀膜装置，其特征在于，包括：中央处理器、镀膜室、驱动装置、真空镀膜装置、冷却室和若干排气装置，所述驱动装置、真空镀膜装置均位于所述镀膜室内，所述冷却室与镀膜室之间相互排列，所述排气装置位于冷却室内。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区金狮大厦11楼AB座 | ||