| 发明名称 | 表面翘曲度测量装置及方法 | ||
| 摘要 | 一种表面翘曲度测量装置及方法，其中表面翘曲度测量装置包括：基座；架设在基座上的移动机构；测量机构，包括：测量部和从测量部伸出的探针；测量部与移动机构连接，探针用于接触待测表面、并受待测表面的压力而朝测量部内移动，测量部用于测量探针的移动位移；测量机构和/或移动机构能够平行于待测表面作水平移动。本方案的表面翘曲度测量装置结构简单，操作方便，成本较低，且测量精确。 | ||
| 申请公布号 | CN105806301A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201410850396.9 | 申请日期 | 2014.12.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;傅锦超 |
| 分类号 | G01B21/32(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 万铁占;骆苏华 |
| 主权项 | 一种表面翘曲度测量装置，其特征在于，包括：基座；架设在所述基座上的移动机构；测量机构，包括：测量部和从所述测量部伸出的探针；所述测量部与移动机构连接，所述探针用于接触待测表面、并能够受待测表面的压力而朝测量部内移动，所述测量部用于测量探针的移动位移；所述测量机构和/或移动机构能够平行于待测表面作水平移动。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||