| 发明名称 | 具有在基底支撑件上的弯曲的同心凹槽的衬托器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于外延生长反应器的衬托器；它大体上包含主体(601)，所述主体(601)具有面(602)，该面(602)包括适合于接纳将经历外延生长的基底的至少一个区(603)；该区(603)具有用于放置所述基底的支托表面(604)或与用于放置所述基底的支托表面(604)相关联；支托表面(604)设置有图案，该图案包括多个弯曲的凹槽伸展部(606)，该多个弯曲凹槽伸展部(606)使它们的中心大体上在与所述支托表面(604)相同的位置(605)中。 | ||
| 申请公布号 | CN105814243A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201480067667.1 | 申请日期 | 2014.12.17 |
| 申请人 | LPE公司 | 发明人 | 弗朗西斯科·科里亚;D·克里帕;温森佐·奥格里阿里;弗兰科·佩雷蒂;马里奥·普莱蒂 |
| 分类号 | C30B25/12(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 汤慧华;郑霞 |
| 主权项 | 一种用于外延生长反应器的衬托器，包含主体(601)，所述主体(601)具有面(602)，所述面(602)包括适合于接纳将经历外延生长的基底的至少一个区(603)，其中所述区(603)具有用于放置所述基底的支托表面(604)或与用于放置所述基底的支托表面(604)相关联，并且其中所述支托表面(604)设置有图案，其特征在于，所述图案包括多个弯曲的凹槽伸展部(606)，所述多个弯曲的凹槽伸展部(606)使它们的中心大体上在与所述支托表面(604)相同的位置(605)中。 | ||
| 地址 | 意大利米兰巴兰扎泰 | ||