搬送装置

摘要

本发明提供一种在晶片的搬送时能够实施定位的搬送装置。搬送装置具有：保持板(52)，其具有与晶片(11)的被保持面相对的保持面(54)；限制部件(56)，其设置于保持面的一端侧，与晶片的周面接触，限制晶片向一端侧的移动；以及使保持板移动的移动单元(58)，在保持面上形成有非接触式的吸引保持部(54a、54b)，该吸引保持部(54a、54b)相对于晶片的被保持面斜向地喷射流体，使晶片在朝向限制部件的方向上移动，并且在保持面与被保持面之间产生负压，吸引保持晶片，该搬送装置从吸引保持部起喷射流体，使晶片顶靠到限制部件上，从而将晶片定位于保持板上的规定的位置处。

主权项

一种搬送装置，其特征在于，具有：保持板，其具有与晶片的被保持面相对的保持面；限制部件，其设置于该保持面的一端侧，且与晶片的周面接触，来限制晶片向该一端侧的移动；以及移动单元，其使该保持板移动，该保持面上形成有非接触式的吸引保持部，该吸引保持部相对于晶片的该被保持面斜向地喷射流体，使晶片在朝向该限制部件的方向上移动，并且，在该保持面与该被保持面之间产生负压，来吸引保持晶片，从该吸引保持部喷射该流体，使晶片顶靠到该限制部件上，从而将晶片定位于该保持板上的规定的位置处。