一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法

摘要

一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，包括如下步骤：（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；（2）将（1）得到的D形光纤装在光刻机上，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置；（3）将（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；（4）对（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于平面部分的中线位置。本发明直接将微环谐振腔集成在D形光纤的平面部分，集成度高，传输信号带宽平坦。

主权项

一种在D形光纤中嵌入微环谐振腔的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将D形光纤的曲面部分固定，D形光纤的平面部分涂上光刻胶并烘干；（2）将步骤（1）得到的D形光纤装在光刻机上，光刻机上还装有掩膜板，该掩膜板刻有用于定位D形光纤的平面部分中线位置的图案，通过掩膜板对D形光纤的平面部分进行曝光，曝光位置为D形光纤平面部分的中线位置，使中线位置的光刻胶发生光化反应；（3）将步骤（2）得到的D形光纤用干燥机加热后，浸入丙酮中显影以除去曝光位置的光刻胶，使D形光纤平面部分的中线位置标记有掩膜板上的图案；（4）对步骤（3）得到的D形光纤采用聚焦离子刻蚀方法，在其平面部分刻蚀一个微环谐振腔或多个级联的微环谐振腔，所述微环谐振腔的圆心位于D形光纤平面部分的中线位置。