超声换能耦合激光辐照优化透明导电薄膜性能的方法

摘要

本发明涉及激光表面处理及薄膜材料制备领域，特指一种利用超声换能和超短脉冲激光辐照相互配合实现透明导电薄膜性能优化的一种方法。将透明导电薄膜置于超声换能器表面，在对透明导电薄膜进行激光辐照的同时，超声换能器在垂直于激光辐照的方向上振动，使得透明导电薄膜沿表面法向高频小振幅振动，使得薄膜样品表面与激光焦点的距离作周期性微小变化，扩大使得透明导电薄膜性能优化的激光参数范围，薄膜表面更容易获得退火作用；透明导电薄膜表面吸收激光能量熔化的同时，振动输入的能量能保证薄膜表面熔化区域在凝固过程中提前形核并增加结晶核心，细化晶粒，从而提高薄膜的致密度，改善薄膜的表面微观结构，最终实现薄膜性能的优化。

主权项

超声换能耦合激光辐照优化透明导电薄膜性能的方法，其特征在于：将透明导电薄膜置于超声换能器表面，在对透明导电薄膜进行激光辐照的同时，超声换能器在垂直于激光辐照的方向上振动，使得透明导电薄膜沿表面法向高频小振幅振动，使得薄膜样品表面与激光焦点的距离作周期性微小变化，扩大使得透明导电薄膜性能优化的激光参数范围，薄膜表面更容易获得退火作用；透明导电薄膜表面吸收激光能量熔化的同时，振动输入的能量能保证薄膜表面熔化区域在凝固过程中提前形核并增加结晶核心，细化晶粒，从而提高薄膜的致密度，改善薄膜的表面微观结构，最终实现薄膜性能的优化。