钛靶材的溅射表面加工方法

摘要

一种钛靶材的溅射表面加工方法，包括：对溅射表面进行第一进给，第一进给过程的进给量小于等于0.6mm；对溅射表面进行至少一次第二进给，至钛靶材厚度达到目标厚度，每次第二进给过程的进给量小于第一进给过程的进给量。在本方案中，第一进给过程的进给量小于等于0.6mm，小于现有技术的0.9mm的进给量，且第二进给过程的进给量小于第一进给过程的进给量，在第一、二进给过程作用在溅射表面的作用力较小，产生的应力层区域及厚度也较小。考虑到在靶材溅射过程的初期，会先溅射一些白片，在该过程中较薄的应力层能够被溅射掉，基本不会影响后续晶圆厚度分布均匀性。而且，第二进给能够逐步去除第一进给过程在溅射表面产生的应力层。

主权项

一种钛靶材的溅射表面加工方法，其特征在于，包括：对所述溅射表面进行一次第一进给，所述第一进给过程的进给量范围小于等于0.6mm；对所述溅射表面进行至少一次第二进给，至钛靶材厚度达到目标厚度，每次所述第二进给过程的进给量小于第一进给过程的进给量。