光谱装置、检测装置以及光谱装置的制造方法

摘要

本发明公开了一种光谱装置、检测装置以及光谱装置的制造方法。该光谱装置包括透射入射光的透射型衍射光栅。透射型衍射光栅具有由第一电介质形成的倾斜面，倾斜面相对于基准线倾斜排列。将向透射型衍射光栅入射的入射光相对于基准线的入射角度设为角度α，且将衍射光相对于基准线的衍射角度设为角度β。在这种情况下，入射角度α是比相对于倾斜面的布拉格角度θ小的角度，衍射角度β是比布拉格角度θ大的角度。

主权项

一种光谱装置，其特征在于，包括透射入射光的透射型衍射光栅，所述透射型衍射光栅具有由第一电介质形成的倾斜面，所述倾斜面相对于基准线倾斜排列，在向所述透射型衍射光栅入射的入射光相对于所述基准线的入射角度为角度α、且衍射光相对于所述基准线的衍射角度为角度β的情况下，所述入射角度α是比相对于所述倾斜面的布拉格角度θ小的角度，所述衍射角度β是比所述布拉格角度θ大的角度，其中，上述入射光的波长λ和光栅周期P满足1.0<λ/P<2.0，在所述倾斜面相对于所述基准线的倾斜角度为的情况下，所述倾斜面在与所述基准线垂直的方向上按周期排列，所述入射光是在与垂直于所述基准线的平面平行且垂直于所述倾斜面的排列方向的方向上偏振的直线偏振光。