物镜框架连接件

摘要

本发明公开了一种物镜框架连接件，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，柔性底座与柔性盖板通过双头螺栓相连，且柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，蝶形弹簧组固定在双头螺栓上。由于双头螺栓、柔性底座和柔性盖板都可以快速拆卸和安装，使得物镜框架安装方便，同样也避免了物镜框架及内部各模块之间的扰动影响。柔性底座和柔性盖板使得物镜框架连接件具有一定的柔性作用，解决了多面体框架包络成形的EUV物镜框架难以装配的问题。实际应用时，根据物镜框架的大小，设计成多点接触的柔性连接框架结构来保证物镜框架整体具有一定的高刚度，从而达到EUV物镜框架结构的高模态，从而降低对连接主基板的低频区域扰动力的响应。

主权项

一种物镜框架连接件，其特征在于，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，所述柔性底座与柔性盖板通过所述双头螺栓相连，并且所述柔性底座和柔性盖板分别与两个物镜框架固定连接，所述蝶形弹簧组固定在所述双头螺栓上；所述柔性底座和柔性盖板的结构均为周向对称的结构；所述柔性底座和柔性盖板的轴向刚度和剪切向刚度范围均在0.1×10⁵N/mm～10×10⁵N/mm之间。