多电极蚀刻装置

摘要

一种多电极蚀刻装置，其包含多个等离子体蚀刻电极、多个承载单元以及多个电力输出模块，该些等离子体蚀刻电极各包含一第一蚀刻侧以及一相对该第一蚀刻侧的第二蚀刻侧，该些承载单元平行设置于各该等离子体蚀刻电极的两侧并承载对应的印刷电路板，各该电力输出模块包含一电力提供单元以及一与该电力提供单元电性连接的调整单元，各该电力输出模块分别与对应的该等离子体蚀刻电极电性连接，并依据对应的该等离子体蚀刻电极以该调整单元调整该电力提供单元的一输出电力。藉由各该电力输出模块的设置而得以针对不同的等离子体蚀刻电极调整该输出电力，提升工艺的稳定性。

主权项

一种多电极蚀刻装置，其用以对多个印刷电路板进行蚀刻，其特征在于，该多电极蚀刻装置包含：多个等离子体蚀刻电极，该些等离子体蚀刻电极各包含一第一蚀刻侧以及一相对该第一蚀刻侧的第二蚀刻侧，以同时对两个印刷电路板进行蚀刻；多个承载对应的该印刷电路板的承载单元，各该承载单元平行设置于各该等离子体蚀刻电极的两侧，且分别与各该等离子体蚀刻电极相距一蚀刻距离；以及多个电力输出模块，各该电力输出模块包含一电力提供单元以及一与该电力提供单元电性连接的调整单元，各该电力输出模块分别与对应的该等离子体蚀刻电极电性连接，并依据对应的该等离子体蚀刻电极以该调整单元调整该电力提供单元的一输出电力；该些电力输出模块的电力提供单元分别提供该输出电力至该些等离子体蚀刻电极，使该些等离子体蚀刻电极的两侧产生蚀刻等离子体，藉此对该些印刷电路板进行等离子体蚀刻。