一种用于运送晶圆的机械手机构

摘要

本发明提供了一种用于运送晶圆的机械手机构，包括一升降驱动机构、一旋转驱动机构、一水平驱动机构和一末端执行部件，所述末端执行部件在旋转驱动机构和水平驱动机构的驱动下承载晶圆做直线运动。本发明的用于运送晶圆的机械手机构，通过对末端执行部件的负载中心进行设计，使之偏置于第一轴线和第三轴线构成的平面外，巧妙地把负载中心的运动轨迹和末端执行部件旋转轴心的运动路径设置为不重合的、且平行的两条直线；通过将负载中心向旋转主臂和旋转副臂的弯曲侧偏置，使机械手最大弯曲时的占用的空间在水平方向上不超过负载边缘的运动轨迹，不占用额外的空间，避免了干涉其他的机械手机构的运作，达到机械手水平运动工作空间布置的优化。

主权项

一种用于运送晶圆的机械手机构，其特征在于，包括：一升降驱动机构；一旋转驱动机构，安装于升降驱动机构上；一水平驱动机构，包括旋转主臂和旋转副臂，旋转主臂安装于旋转驱动机构上端，由旋转驱动机构驱动绕第一轴线旋转，旋转主臂和旋转副臂在第二轴线处安装于一体，且旋转主臂和旋转副臂绕第二轴线相对旋转；一末端执行部件，可旋转地安装于水平驱动机构的旋转副臂上，可绕第三轴线旋转，所述末端执行部件在旋转驱动机构和水平驱动机构的驱动下承载晶圆做直线运动；其中，末端执行部件的负载中心的运动路径为一与第一轴线、第三轴线均垂直的直线，且第一轴线、第二轴线和第三轴线相互平行，负载中心的运动路径与第一轴线和第三轴线构成的面之间具有一特定距离，所述特定距离等于第一轴线到旋转主臂最远端的距离与晶圆半径之差；其中，所述第一轴线与第二轴线的距离等于所述第二轴线与所述第三轴线的距离；所述第一轴线与第二轴线的距离小于晶圆的直径。