紫外激光器光源和形成用于生成紫外光的倍频波导的方法

摘要

本发明为紫外激光器光源和形成用于生成紫外光的倍频波导的方法，公开了一种激光装置，其提供至少紫外激光束，并优选提供紫外激光束和可见激光束两者。激光装置包括半导体激光装置(例如，激光二极管)以产生可见激光，所述可见激光被耦合到采用单晶薄膜倍频波导结构的倍频晶体中。单晶薄膜倍频波导将激光二极管发出的可见光的一部分转变成紫外光。可见光和紫外激光均从波导发出。作为例子，单晶薄膜倍频波导包括由β-BaB₂O₄(β-BBO)构成的倍频晶体区域、由对紫外激光光束的波长透明和接近透明的材料构成的覆层区域，以及由任意材料构成的支撑基底。

主权项

一种用于提供紫外光的激光光源，包括：半导体激光装置，其构造成发出可见光；及包括单晶薄膜的倍频波导，所述波导光学耦合到半导体激光装置以接收半导体激光装置发出的可见光，倍频波导构造成将所接收的光的至少一部分转变成紫外光，其中所述波导包括：单晶薄膜，所述单晶薄膜形成所述波导的倍频区域，其中所述单晶薄膜是单晶非线性光学材料薄膜；第一覆层区域，包括对具有可见波长的光线和紫外激光束基本透明的材料；及支撑基底；其中第一覆层区域设置在支撑基底和倍频区域之间，且其中所述波导包括倍频脊形波导或倍频平面波导，并且其中覆层区域在可见光和紫外光两者波长下都具有小于0.05的消光系数(k)。