| 摘要 |
본 발명은, 원료를 수용하는 도가니와, 이 원료를 가열하여 원료융액으로 하는 히터를 격납하는 메인챔버와, 상기 히터와 상기 메인챔버의 사이에 배치되고, 상기 히터로부터의 복사열을 차단하는 쉴드를 구비하는 쵸크랄스키법에 의한 실리콘 단결정 인상장치로서, 상기 히터 및 상기 쉴드를 하방으로부터 지지하는 지지부재를 갖고, 상기 지지부재가 승강가능함으로써, 상기 히터와 상기 쉴드가 함께 승강가능한 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 인상장치이다. 이에 따라, 열이력의 조절을 하면서, 실리콘 단결정의 인상속도의 향상이나 산소농도의 저감을 용이하게 할 수 있는 실리콘 단결정 인상장치가 제공된다. |
