一种静压工作台油膜厚度调节装置与方法

摘要

本发明属于机械工程领域，涉及一种静压工作台油膜厚度调节装置与方法。调节装置中，控制系统包括西门子840DSL数控系统和S7‑300模拟量输入输出模块，测量系统为包含电涡流位移传感器的德国米依测量系统DT3300。为了维持油膜厚度的恒定，根据控制器给出的多个不同频率和对应位移传感器检测的实际油膜厚度，采用最小二乘法建立油膜厚度与电机频率的关系模型，然后根据关系模型和目标油膜厚度值计算出所需电机频率，经信号处理后输出到变频器，从而调整变频电机的转速，改变多头泵的供油量，使油膜厚度始终处于一个最优的目标状态。

主权项

一种静压工作台油膜厚度调节装置，包括静压工作台、控制系统、测量系统、执行机构，静压工作台中安装有静压油垫，控制系统包括西门子840DSL数控系统和S7‑300模拟量输入输出模块，测量系统为包含电涡流位移传感器的德国米依测量系统DT3300，执行机构中由变频器、异步电机和多头泵组成，控制系统连接变频器，变频器控制异步电机，异步电机驱动多头泵，多头泵的每个出油头与静压油垫的油腔连接。