一种具有防爆功能的铜制程装置及铜制程防爆方法

摘要

本发明公开了一种具有防爆功能的铜制程装置和铜制程防爆方法，铜制程装置包括反应腔室、设于反应腔室下方用于盛放刻蚀用的药液的容器、进液管、回流管、温控单元、自控单元和进液管上的泵，反应腔室内设有用于朝其内的基板喷洒药液的喷淋组件，进液管和回流管分别同时连接在喷淋组件和容器之间，进液管用于在泵的工作下自容器朝喷淋组件运输药液；温控单元包括温度传感器，温度传感器设于容器内，用于实时检测容器内的药液温度；自控单元与温控单元电连接，容器内的药液温度高于预设温度范围时，自控单元控制泵停止工作。本发明可以避免药液温度异常时出现药液容器爆炸的现象，保障了作业人员的人身安全。

主权项

一种具有防爆功能的铜制程装置，其特征在于，包括反应腔室(10)、设于所述反应腔室(10)下方用于盛放刻蚀用的药液的容器(20)、进液管(30)、回流管(40)、温控单元(50)、自控单元(C)和所述进液管(30)上的泵(M)，所述反应腔室(10)内设有用于朝其内的基板(S)喷洒药液的喷淋组件(11)，所述进液管(30)连接在所述喷淋组件(11)和所述容器(20)之间，所述回流管(40)连接在所述应腔室(10)的底部和所述容器(20)之间，所述进液管(30)用于在所述泵(M)的工作下自所述容器(20)朝所述喷淋组件(11)运输药液；所述温控单元(50)包括温度传感器，所述温度传感器设于所述容器(20)内，用于实时检测所述容器(20)内的药液温度；所述自控单元(C)与所述温控单元(50)电连接，所述容器(20)内的药液温度高于预设温度范围(T₀)时，所述自控单元(C)控制所述泵(M)停止工作。