发明名称 |
一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置 |
摘要 |
本实用新型涉及材料测试仪器技术领域,尤其是一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置,将高灵敏度扫描隧道显微镜小型化,使得和低温制冷装置,恒温腔以及温度控制有机结合起来的设计方案;并构建一种类似的测量装置,此装置可以用于对样品进行变温下高灵敏度扫描隧道显微测量,温度变化范围在10 K 到室温,设计恒定温度波动小于10 mK/小时。 |
申请公布号 |
CN205333679U |
申请公布日期 |
2016.06.22 |
申请号 |
CN201520371309.1 |
申请日期 |
2015.06.02 |
申请人 |
常州朗道科学仪器有限公司 |
发明人 |
潘明虎 |
分类号 |
G01Q30/10(2010.01)I |
主分类号 |
G01Q30/10(2010.01)I |
代理机构 |
常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 |
代理人 |
沈兵 |
主权项 |
一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置,其特征是,包括小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)、低温恒温腔(2)、低温制冷装置,所述小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)置于低温恒温腔(2)内,低温恒温腔(2)与低温制冷装置直接相连,样品(4)安装在小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)上。 |
地址 |
213000 江苏省常州市武进区西太湖科技产业园祥云路6号 |