发明名称 一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置
摘要 本实用新型涉及材料测试仪器技术领域,尤其是一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置,将高灵敏度扫描隧道显微镜小型化,使得和低温制冷装置,恒温腔以及温度控制有机结合起来的设计方案;并构建一种类似的测量装置,此装置可以用于对样品进行变温下高灵敏度扫描隧道显微测量,温度变化范围在10 K 到室温,设计恒定温度波动小于10 mK/小时。
申请公布号 CN205333679U 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201520371309.1 申请日期 2015.06.02
申请人 常州朗道科学仪器有限公司 发明人 潘明虎
分类号 G01Q30/10(2010.01)I 主分类号 G01Q30/10(2010.01)I
代理机构 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 代理人 沈兵
主权项 一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置,其特征是,包括小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)、低温恒温腔(2)、低温制冷装置,所述小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)置于低温恒温腔(2)内,低温恒温腔(2)与低温制冷装置直接相连,样品(4)安装在小型化高灵敏度扫描探针显微镜(1)上。
地址 213000 江苏省常州市武进区西太湖科技产业园祥云路6号