发明名称 一种避免硅片引线孔发白的结构
摘要 本实用新型公开了一种避免硅片引线孔发白的结构,硅片蒸发处理工艺前,降低硅片上引线孔表面结构与氧化层之间的差异。采用本实用新型避免硅片引线孔发白的结构,可以减少甚至完全避免引线孔发白现象的出现,使硅片表面没有明显色差,避免了后续工艺中设备识别硅片时因色差导致的判断处理错误,提高了硅片封装良率。
申请公布号 CN205335240U 申请公布日期 2016.06.22
申请号 CN201620005411.4 申请日期 2016.01.06
申请人 江苏博普电子科技有限责任公司 发明人 张卫平;陈强;张复才
分类号 H01L21/768(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I 主分类号 H01L21/768(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 耿英;董建林
主权项  一种避免硅片引线孔发白的结构,其特征是,在硅片掺杂区表面生成一氧化层,阻挡金属与硅片掺杂区的直接接触。
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