发明名称 用于转移层的处理
摘要 用于转移层的处理。本发明涉及一种用于使用临时衬底(5)将有源层(2)转移至最终衬底(4)的处理,所述有源层(2)包括具有特定表面形貌的第一侧(1),所述处理包括以下步骤:将所述有源层(2)的所述第一侧(1)结合到所述临时衬底(5)的一侧的第一步骤;将所述有源层(2)的第二侧(6)结合到所述最终衬底(4)的第二步骤;以及,将所述有源层(2)和所述临时衬底(5)分开的第三步骤,所述处理的特征在于,所述临时衬底(5)的所述一侧具有与所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌互补的表面形貌,使得在结合的所述第一步骤中,所述临时衬底(5)的所述表面形貌封装所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌。
申请公布号 CN105679648A 申请公布日期 2016.06.15
申请号 CN201511034378.4 申请日期 2015.11.12
申请人 索泰克公司 发明人 M·波卡特
分类号 H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 吕俊刚
主权项 一种用于使用临时衬底(5)将有源层(2)转移至最终衬底(4)的处理,所述有源层(2)包括具有特定表面形貌的第一侧(1),所述处理包括以下步骤:‑将所述有源层(2)的所述第一侧(1)结合到所述临时衬底(5)的一侧的第一步骤;‑将所述有源层(2)的第二侧(6)结合到所述最终衬底(4)的第二步骤;以及‑将所述有源层(2)和所述临时衬底(5)分开的第三步骤;所述处理的特征在于,所述临时衬底(5)的所述一侧具有与所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌互补的表面形貌,使得在结合的所述第一步骤中,所述临时衬底(5)的所述表面形貌封装所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌。
地址 法国伯尔宁