发明名称 | 用于转移层的处理 | ||
摘要 | 用于转移层的处理。本发明涉及一种用于使用临时衬底(5)将有源层(2)转移至最终衬底(4)的处理,所述有源层(2)包括具有特定表面形貌的第一侧(1),所述处理包括以下步骤:将所述有源层(2)的所述第一侧(1)结合到所述临时衬底(5)的一侧的第一步骤;将所述有源层(2)的第二侧(6)结合到所述最终衬底(4)的第二步骤;以及,将所述有源层(2)和所述临时衬底(5)分开的第三步骤,所述处理的特征在于,所述临时衬底(5)的所述一侧具有与所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌互补的表面形貌,使得在结合的所述第一步骤中,所述临时衬底(5)的所述表面形貌封装所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌。 | ||
申请公布号 | CN105679648A | 申请公布日期 | 2016.06.15 |
申请号 | CN201511034378.4 | 申请日期 | 2015.11.12 |
申请人 | 索泰克公司 | 发明人 | M·波卡特 |
分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 吕俊刚 |
主权项 | 一种用于使用临时衬底(5)将有源层(2)转移至最终衬底(4)的处理,所述有源层(2)包括具有特定表面形貌的第一侧(1),所述处理包括以下步骤:‑将所述有源层(2)的所述第一侧(1)结合到所述临时衬底(5)的一侧的第一步骤;‑将所述有源层(2)的第二侧(6)结合到所述最终衬底(4)的第二步骤;以及‑将所述有源层(2)和所述临时衬底(5)分开的第三步骤;所述处理的特征在于,所述临时衬底(5)的所述一侧具有与所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌互补的表面形貌,使得在结合的所述第一步骤中,所述临时衬底(5)的所述表面形貌封装所述有源层(2)的所述第一侧(1)的所述表面形貌。 | ||
地址 | 法国伯尔宁 |