发明名称 一种单晶炉的炉盖
摘要 本发明涉及一种单晶炉的炉盖,包括炉盖主体、过流阀、出气管、气体处理装置和定位机构,所述的炉盖主体呈向上凸的弧形,所述的炉盖主体内设置有空心腔体,所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座,所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处,所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道,所述的过流通道与空心腔体相连通,所述的过流阀安装在过流通道内,所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通,所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处,所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
申请公布号 CN105671643A 申请公布日期 2016.06.15
申请号 CN201610151794.0 申请日期 2016.03.16
申请人 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 发明人 潘清跃;王平
分类号 C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种单晶炉的炉盖,其特征在于:包括炉盖主体(1),所述的炉盖主体(1)呈向上凸的弧形,所述的炉盖主体(1)内设置有空心腔体(2),所述的炉盖主体(1)下端的两侧设置有连接座(3),所述的炉盖主体(1)通过两侧的连接座(3)安装在炉体的上沿处,过流阀(4),所述的炉盖主体(1)的弧形内壁上开设有过流通道(5),所述的过流通道(5)与空心腔体(2)相连通,所述的过流阀安装在过流通道(5)内,出气管(6),所述的出气管(6)穿过炉盖主体(1)的上侧壁与空心腔体2相连通,气体处理装置(7),所述的气体处理装置(7)安装在出气管(6)的出气口处,定位机构,所述的定位机构设置在连接座(3)与炉体的上沿之间。
地址 213200 江苏省常州市金坛区金坛经济开发区华城路318号