晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置

摘要

晶圆关联数据生成装置(47)具备对晶圆托盘(32)进行固定的固定台、对固定于该固定台的晶圆托盘的切割片(34)上的晶粒(31)进行吸附的测试用吸嘴(51)、将切割片中的要由测试用吸嘴吸附的晶粒的粘贴部分顶出的测试用顶出销(53)及对切割片上的晶粒进行拍摄的测试用相机(54)，使用该晶圆关联数据生成装置(47)，将作为晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘固定于晶圆关联数据生成装置的固定台，执行由测试用相机拍摄的图像的处理、测试用顶出销的顶出动作及测试用吸嘴的晶粒吸附动作而生成晶圆关联数据。

主权项

一种晶圆关联数据管理方法，对在晶粒供给装置中使用的晶圆关联数据进行管理，所述晶粒供给装置中，对张贴有可伸缩的切割片的晶圆托盘进行固定，所述切割片粘贴有以分割成多个晶粒的方式被切割的晶圆，通过相机拍摄所述切割片上的晶粒而对所述晶粒的位置进行图像识别，在使吸嘴下降而吸附并拾取所述切割片上的晶粒时，利用顶出销将所述切割片中的要吸附的晶粒的粘贴部分顶出而将所述晶粒的粘贴部分从所述切割片局部地剥离，并且利用所述吸嘴吸附所述晶粒而从所述切割片进行拾取，所述晶圆关联数据管理方法的特征在于，使用晶圆关联数据生成装置，所述晶圆关联数据生成装置具备对作为所述晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘进行固定的固定台、对固定于所述固定台的晶圆托盘的切割片上的晶粒进行吸附的测试用吸嘴、将所述切割片中的要由所述测试用吸嘴吸附的晶粒的粘贴部分顶出的测试用顶出销及对所述切割片上的晶粒进行拍摄的测试用相机，将作为所述晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘固定于所述晶圆关联数据生成装置的固定台，执行对由所述测试用相机拍摄的图像的处理、所述测试用顶出销的顶出动作及所述测试用吸嘴的晶粒吸附动作，而生成所述晶圆关联数据。