一种前置于真空获得设备的气体过滤装置

摘要

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。包括上级过滤器、中间连接盘及下级过滤器，其中下级过滤器的下端设有下级进气口，上端与上级过滤器的底部连接，所述上级过滤器的顶部设有上级排气口，所述中间连接盘设置于上级过滤器的底部，所述中间连接盘上沿周向设有多个将上级过滤器和下级过滤器连通的通孔。所述下级过滤器的底部设有脚轮。所述下级进气口与被抽气体源连接，所述上级排气口与真空泵连接。本发明工作效率高，维护间隔长，过滤器内部清洁容易。

主权项

一种前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：包括上级过滤器(A)、中间连接盘(5)及下级过滤器(B)，其中下级过滤器(B)的下端设有下级进气口(2)，上端与上级过滤器(A)的底部连接，所述上级过滤器(A)的顶部设有上级排气口(10)，所述中间连接盘(5)设置于上级过滤器(A)的底部，所述中间连接盘(5)上沿周向设有多个将上级过滤器(A)和下级过滤器(B)连通的通孔。