工件尺寸检测装置、方法及多工位组合式晶棒加工设备

摘要

本发明提供的工件尺寸检测装置、方法及多工位组合式晶棒加工设备，工件尺寸检测装置包括：驱动装置；沿一水平方向设置的转轴，连接驱动装置并受其驱动而能进行正转或反转运动；一对测量臂，固定连接转轴，且分别从转轴侧面向相对两侧对称延伸且向平行于转轴的方向弯折而形成一对第一段，所述一对第一段之间形成有供设置工件的容纳空间；所述驱动装置中至少设有转矩传感器、运动量检测器及控制器；所述控制器接收所述采集的转矩值和预设转矩阈值比较，若大于，接收所述运动量检测器所采集的转轴从初始位置到达当前位置的运动量值，并和预设运动量下限阈值及预设运动量上限阈值分别比较，根据比较结果实现简单快捷地检测工件尺寸是否符合要求。

主权项

一种工件尺寸检测装置，其特征在于，包括：驱动装置；沿一水平方向设置的转轴，连接所述驱动装置并受其驱动而能进行正转或反转运动；一对测量臂，固定连接所述转轴，且分别从所述转轴侧面向相对两侧对称延伸且向平行于所述转轴的方向弯折而形成一对第一段，所述一对第一段之间形成有供设置工件的容纳空间；所述一对测量臂的第一段至少能随所述转轴的正转或反转而运动至抵压于所述工件而令所述转轴的转矩变化；其中，所述驱动装置中至少设有伺服电机、转矩传感器、运动量检测器及控制器；所述伺服电机，连接并驱动所述转轴；所述转矩传感器，用于采集所述转轴的转矩值；所述运动量检测器，用于采集所述转轴从初始位置转动至目标位置的运动量值；所述控制器，连接所述转矩传感器和运动量检测器，用于接收所述转矩传感器采集的转矩值并将所述转矩值和预设转矩阈值比较；在比较结果为所采集转矩值大于所述预设转矩阈值时，控制所述运动量检测器采集所述转轴从初始位置到达当前位置的运动量值；并且，所述控制器用于将所述运动量值与预设运动量下限阈值和预设运动量上限阈值比较以分别输出对应信息，包括：若所述运动量值在预设运动量下限阈值和预设运动量上限阈值之间，则输出表示工件尺寸正常的信息；若所述运动量值小于所述预设运动量下限阈值，则输出表示所述工件尺寸过大的第一错误信息；若所述运动量值大于所述预设运动量上限阈值，则输出表示所述工件尺寸过小的第二错误信息。