发明名称 Piezoelektrische Positionier-Vorrichtung und Positionier-Verfahren mittels einer derartigen piezoelektrischen Positionier-Vorrichtung
摘要 Eine piezoelektrische Positionier-Vorrichtung (1) umfasst mindestens einen piezoelektrischen Aktor (3) mit einem ersten Anschlusskontakt (4) und einem zweiten Anschlusskontakt (5). Zur Ansteuerung des mindestens einen piezoelektrischen Aktors (3) dient eine Steuereinrichtung (6), die mit den Anschlusskontakten (4, 5) verbundene Digital-Analog-Wandler (12, 16) umfasst. Ein Fein-Wandler (16) weist gegenüber einem Grob-Wandler (12) einen vergleichsweise kleineren Spannungsbereich und kleinere Spannungsstufen auf, so dass eine hohe Positioniergenauigkeit erzielbar ist.
申请公布号 DE102014224220(A1) 申请公布日期 2016.06.02
申请号 DE201410224220 申请日期 2014.11.27
申请人 Carl Zeiss SMT GmbH 发明人 Kempter, Christian;Korten, Ulrich;Anic, Jürgen
分类号 H02N2/06 主分类号 H02N2/06
代理机构 代理人
主权项
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