| 摘要 |
超高感度レシオメトリック静電容量式膨張計および関連する方法が記載されている。膨張計（１００）は、レシオメトリック静電容量、すなわち、膨張計の２つ以上の平行板コンデンサ（２０１、２０２）の間で測定される静電容量比に基づいて静電容量の測定をする。この点において、絶対静電容量ブリッジは不要であり、さらに有利な点として、吸着ガスの影響が従来の膨張計と比較して大幅に低減される。このレシオメトリック静電容量式膨張計は対称的な構成を提供し、これにより温度勾配の影響が低減される。さらに、特定の実施形態はＶ溝設計を提供し、第１の平行板コンデンサは、その膨張計の第２の平行板コンデンサとの間で、膨張計セルの主要な中心線に沿って角度をなしており、これにより研削、金属化、組立が単純になることによって製造しやすさが向上する。 |
