发明名称 |
ポジ型感光性組成物、薄膜トランジスタ及び化合物 |
摘要 |
本発明は、パターニング性及び硬化物(薄膜)の電気的絶縁信頼性に優れるポジ型感光性組成物を提供することを目的とするものであり、第1の本発明のポジ型感光性組成物は、(A)酸存在下で分解し酸性基又は水酸基が発現する構造を有する、一分子中にアルケニル基又はSiH基を含有する化合物、(B)一分子中にSiH基又はアルケニル基を含有する化合物、(C)ヒドロシリル化触媒、及び、(D)光酸発生剤を含有することを特徴とする。 |
申请公布号 |
JPWO2014007231(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.02 |
申请号 |
JP20140523744 |
申请日期 |
2013.07.02 |
申请人 |
株式会社カネカ |
发明人 |
井手 正仁;稲成 浩史;北嶋 亜紀;田原 孔明;眞鍋 貴雄 |
分类号 |
G03F7/075;C08K5/54;C08K5/5425;C08L83/05;C08L83/07;G03F7/027;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/075 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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