摘要 |
回路パターン(2)がセラミック基板(1)の上面に接合されている。冷却体(3)がセラミック基板(1)の下面に接合されている。IGBT(4)とFWD(5)が回路パターン(2)上に実装されている。コーティング膜(16)が、セラミック基板(1)と回路パターン(2)の接合部、及びセラミック基板(1)と冷却体(3)の接合部を覆っている。モールド樹脂(17)が、セラミック基板(1)、回路パターン(2)、IGBT(4)、FWD(5)、冷却体(3)、及びコーティング膜(16)等を封止している。セラミック基板(1)はコーティング膜(16)より熱伝導率が高い。コーティング膜(16)は、モールド樹脂(17)よりも硬度が低く、モールド樹脂(17)からセラミック基板(1)にかかる応力を緩和する。回路パターン(2)と冷却体(3)は、コーティング膜(16)で覆われずモールド樹脂(17)に接する溝(18)を有する。 |