| 发明名称 |
Herstellen von waferartigen Dünnglasplatten mit Aufbauten und Auftrennen in einzelne kleinere Dünnglasplatten |
| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von waferartigen Dünnglasplatten mit Aufbauten und Auftrennen dieser in einzelne kleinere Dünnglasplatten sowie auf nach dem Verfahren hergestellte Dünnglasplatten. |
| 申请公布号 |
DE102015120569(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.02 |
| 申请号 |
DE201510120569 |
申请日期 |
2015.11.26 |
| 申请人 |
SCHOTT AG |
发明人 |
Jotz, Matthias |
| 分类号 |
C03B33/023;H01L21/58;H01M4/66 |
主分类号 |
C03B33/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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